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西安贏潤(rùn)環(huán)??萍技瘓F(tuán)有限公司
Xi 'an ERUN Environmental Protection Technology Group Co., LTD
4001780085 18166600150
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氣體檢測(cè)儀器
便攜式氣體報(bào)警儀
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手提式氣體檢測(cè)分析儀
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手提式紫外差分氣體分析儀ERUN-QB8610
煙氣分析
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手提式氣體檢測(cè)分析儀
手提式紫外差分氣體分析儀ERUN-QB8610
煙氣分析
產(chǎn)品描述
手提式紫外差分氣體分析儀ERUN-QB8610用于:以差分紫外吸收光譜分析技術(shù)(DOAS)為核心,采用差分紫外吸收光譜技術(shù)和化學(xué)計(jì)量學(xué)算法測(cè)量固定污染源排氣中的SO2、NO、NO2、CO、CO2、O2等成分濃度的一款光學(xué)檢測(cè)儀器。
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ERUN-QB8610手提式紫外差分氣體分析儀產(chǎn)品概述:
手提式紫外差分氣體分析儀
ERUN-QB8610用于:以差分紫外吸收光譜分析技術(shù)(DOAS)為核心,采用差分紫外吸收光譜技術(shù)和化學(xué)計(jì)量學(xué)算法測(cè)量固定污染源排氣中的SO2、NO、NO2、CO、CO2、O2等成分濃度的一款光學(xué)檢測(cè)儀器,其內(nèi)部采用進(jìn)口光學(xué)核心部件,不受煙氣中水蒸氣影響,具有較高的測(cè)量精度和穩(wěn)定性,特別適合高濕低硫工況測(cè)量,具有測(cè)量精度高、可靠性強(qiáng)、響應(yīng)時(shí)間快、使用壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn)。
采用7寸高清彩屏實(shí)時(shí)顯示,采用進(jìn)口高分辨光譜儀、行業(yè)知名品牌的氣體傳感器,先進(jìn)的電路設(shè)計(jì)、成熟的內(nèi)核算法處理,獨(dú)特的外形設(shè)計(jì),取得了多項(xiàng)軟件著作和外觀等專利。適用于煙氣排放,脫硫脫硝、鍋爐尾氣、VOCs尾氣排放、污水管道等需要?dú)怏w檢測(cè)分析的場(chǎng)合。
ERUN-QB8610手提式紫外差分氣體分析儀檢測(cè)原理:
檢測(cè)儀測(cè)量原理是采用差分紫外吸收光譜技術(shù),紫外光與分子相互作用時(shí)被分子吸收導(dǎo)致光能的變化,由于不同分子內(nèi)部電子能級(jí)的躍遷能量和幾率的不同,使得不同分子具有特征吸收光譜,工作原理基于Beer-Lambert(比爾-朗伯)定律。
檢測(cè)儀的光路部分由光源、氣室、光纖和光譜儀等光學(xué)組件構(gòu)成。
光源發(fā)出的紫外光經(jīng)光學(xué)視窗進(jìn)入氣室,被流經(jīng)氣室的被測(cè)樣氣所吸收,攜帶被測(cè)樣氣吸收信息的光經(jīng)透鏡匯聚后耦合入光纖,經(jīng)光纖傳輸送入光譜儀進(jìn)行分光、采樣處理,得到氣體的吸收光譜;通過對(duì)光譜進(jìn)行分析,可以分析出氣體中相關(guān)組分的濃度。
將樣氣按照檢測(cè)儀能夠接受的壓力、溫度、濕度、流量、(含塵量)、以及干凈程度完成其處理功能,主要完成以下幾項(xiàng)工作:
樣品取樣:用真空取樣泵或直流無刷泵將樣氣從煙道等環(huán)境中抽出
粉塵過濾:被測(cè)氣體經(jīng)過精密粉塵過濾器再進(jìn)入取樣管路,如果是高粉塵環(huán)境需要選配自動(dòng)反吹系統(tǒng)
除濕功能:雙級(jí)高效冷凝除濕系統(tǒng),將氣體的露點(diǎn)穩(wěn)定控制在4℃或5℃
氣水分離:樣氣經(jīng)取樣管路降溫以后出現(xiàn)游離水,氣水分離器將氣、水、殘余粉塵分開,自動(dòng)排水
二次過濾:根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)濕度大小選配,進(jìn)行二次水汽分離
檢測(cè)分析:實(shí)時(shí)檢測(cè)并顯示濃度,并以4-20mA/RS485等信號(hào)方式傳輸數(shù)據(jù),也可以通過無線傳輸或網(wǎng)絡(luò)傳輸?shù)竭h(yuǎn)程服務(wù)器或環(huán)保局、監(jiān)測(cè)站
流量調(diào)節(jié):控制氣體的進(jìn)氣量
氣體切換:進(jìn)行被測(cè)氣體、標(biāo)準(zhǔn)氣體或空氣的切換
ERUN-QB8610手提式紫外差分氣體分析儀產(chǎn)品特點(diǎn):
防水設(shè)計(jì),防護(hù)等級(jí)IP66
,檢測(cè)快速,可靠,穩(wěn)定
整機(jī)結(jié)構(gòu)一體化設(shè)計(jì),無需進(jìn)行繁瑣的連管接線,便攜實(shí)用
采用差分紫外技術(shù)(DOAS
),溫度漂移小、測(cè)量精度高,可測(cè)超低濃度
自動(dòng)識(shí)別被測(cè)氣體的類型和濃度,常見的可被測(cè)氣體有NO
、NO2、SO2、NH3、H2S、O3、苯、甲苯、二甲苯等
可定制長(zhǎng)光程氣池,NOX
、SO2分析雙量程設(shè)計(jì),根據(jù)濃度值自動(dòng)切換量程控制
各氣體濃度圖表實(shí)時(shí)顯示,顯示比例可調(diào)整
電池容量:5AH
,更大容量可定制
測(cè)量方式可定制自動(dòng)、手動(dòng)模式,自動(dòng)模式下可設(shè)置單次測(cè)量時(shí)間和測(cè)量次數(shù)
檢出下限低,不受水分和粉塵影響,抗干擾能力強(qiáng),可避免氣體間的交叉干擾
內(nèi)置加熱裝置,低溫時(shí)自動(dòng)啟動(dòng)加熱功能,使檢測(cè)儀可在嚴(yán)寒地區(qū)使用
linux
操作系統(tǒng),支持中、英文顯示
工業(yè)高速嵌入式工控機(jī),控制精準(zhǔn)、速度快
設(shè)計(jì)開發(fā)windows
環(huán)境下微機(jī)數(shù)據(jù)庫(kù)及通信系統(tǒng)軟件,實(shí)現(xiàn)微機(jī)通訊進(jìn)行存儲(chǔ)、打印
配備豐富人機(jī)接口,支持鼠標(biāo)、U
盤、鍵盤、觸摸板、打印機(jī)等設(shè)備
可選配自動(dòng)反吹系統(tǒng)
一鍵切換至反吹狀態(tài),即使儀器在煙道中,也可對(duì)氣路吸入新鮮空氣,用于保護(hù)后端電化學(xué)傳感器或?qū)x器進(jìn)行調(diào)零操作
可通過互聯(lián)網(wǎng)遠(yuǎn)程實(shí)時(shí)監(jiān)控工作狀態(tài),實(shí)現(xiàn)儀器的運(yùn)行狀態(tài)和安全的全程監(jiān)控,規(guī)范質(zhì)控管理
ERUN-QB8610手提式紫外差分氣體分析儀技術(shù)參數(shù):
檢測(cè)參數(shù)
NO
、
NO2
、
SO2
、
NH3
、
H2S
、
O3
、
CO
、
CO2
苯、甲苯、二甲苯等
應(yīng)用場(chǎng)合
煙氣排放,脫硫脫硝、鍋爐尾氣、
VOCs
尾氣排放、污水管道氣體檢測(cè)分析
檢測(cè)范圍
0-2
、
10
、
20
、
50
、
100
、
500
、
1000
、
2000ppm
,其他量程可定制
分
辨
率
0.01ppm
或0.001ppm
(0~10 ppm);
0.01ppm
(0
~100 ppm);
0.1ppm
(0
~1000 ppm);
1ppm
(0
~1000 ppm以上);
0.01mg/L
(0
~100 mg/L);
0.1%LEL
;
0.01%Vol
;
0.001%Vol
;
檢測(cè)原理
差分紫外(
DOAS
),可根據(jù)氣體類型、量程、現(xiàn)場(chǎng)環(huán)境和用戶需求而定。
最大允許
誤差值
≤±
3%F.S
(更高精度可訂制)
線
性
度
≤±
2%
重
復(fù)
性
≤±
2%
不確定度
≤±
2%
響應(yīng)時(shí)間
T90
≤
30
秒
恢復(fù)時(shí)間
≤
30
秒
工作環(huán)境
溫度:-20
~+55℃(典型值) -40~+70℃(極限值)
,濕度:10
~95%RH (常規(guī))非凝露場(chǎng)合
顯示方式
7
寸觸摸彩屏顯示
樣氣溫度
-40
~+70
℃
(標(biāo)準(zhǔn)),選配:
- 40
℃
~800
℃、
- 40
℃
~1300
℃,更高溫度的檢測(cè)分析需定制
輸出信號(hào)
4~20mA
、
RS485
、多路無源觸點(diǎn),選配:無線傳輸、網(wǎng)絡(luò)傳輸
工作電源
24V
,
5AH
大容量可充電聚合物鋰電池
工作方式
泵吸式測(cè)量
報(bào)警方式
選配一體式聲光報(bào)警器,外置型
防護(hù)等級(jí)
IP66
戶外防水型
防爆類型
本質(zhì)安全型
防爆標(biāo)志
Ex ia IIC T4 Ga
執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)
《固定污染源廢氣氮氧化物的測(cè)定紫外吸收法》
DB37/T 2704
-
2015
《固定污染源廢氣二氧化硫的測(cè)定紫外吸收法》
DB37/T 2705
-
2015
DB37/T2641-2015
《便攜式紫外吸收法多氣體測(cè)量系統(tǒng)技術(shù)要求及檢測(cè)方法》
HJ 1131-2020
《固定污染源廢氣
二氧化硫的測(cè)定
便攜式紫外吸收法》
外型尺寸
125*210*410mm
配件清單
手提式差分紫外氣體檢測(cè)儀 1
套
產(chǎn)品說明書 1
本
可測(cè)氣體:
檢測(cè)氣體
量程
精度
最小讀數(shù)
可燃?xì)?/span>
( E
×
)
0-100%LEL
<±
3%(F.S)
0.1%LEL
可燃?xì)?/span>
( E
×
)
0-100%Vol
<±
3%(F.S)
0.1%Vol
甲烷
( CH4 )
0-100%LEL
<±
3%(F.S)
0.1%LEL
甲烷
( CH4 )
0-100%Vol
<±
3%(F.S)
0.1%Vol
氧氣
( O2 )
0-30%Vol
<±
3%(F.S)
0.01%Vol
氧氣
( O2 )
0-100%Vol
<±
3%(F.S)
0.01%Vol
氧氣
( O2 )
0-1000ppm
<±
3%(F.S)
1ppm
氧氣
( O2 )
0-50000ppm
<±
3%(F.S)
1ppm
一氧化碳
( CO )
0-500ppm
<±
3%(F.S)
0.1ppm
一氧化碳
( CO )
0-1000ppm
<±
3%(F.S)
1ppm
一氧化碳
( CO )
0-2000ppm
<±
3%(F.S)
1ppm
一氧化碳
( CO )
0-20000ppm
<±
3%(F.S)
1ppm
一氧化碳
( CO )
0-100000ppm
<±
3%(F.S)
1ppm
一氧化碳
( CO )
0-100%VOL
<±
3%(F.S)
0.01%Vol
二氧化碳
( CO2 )
0-10000ppm
<±
3%(F.S)
1ppm
二氧化碳
( CO2 )
0-2000ppm
<±
3%(F.S)
1ppm
二氧化碳
( CO2 )
0-5000ppm
<±
3%(F.S)
1ppm
二氧化碳
( CO2 )
0-50000ppm
<±
3%(F.S)
1ppm
二氧化碳
( CO2 )
0-20%Vol
<±
3%(F.S)
0.01%Vol
二氧化碳
( CO2 )
0-50%Vol
<±
3%(F.S)
0.01%Vol
二氧化碳
( CO2 )
0-10%VOL
<±
3%(F.S)
0.01%Vol
甲醛
( CH2O )
0-10ppm
<±
3%(F.S)
0.001ppm
甲醛
( CH2O )
0-50ppm
<±
3%(F.S)
0.01ppm
甲醛
( CH2O )
0-100ppm
<±
3%(F.S)
0.01ppm
臭氧
( O3 )
0-1ppm
<±
3%(F.S)
0.001ppm
臭氧
( O3 )
0-10ppm
<±
3%(F.S)
0.001ppm
臭氧
( O3 )
0-50ppm
<±
3%(F.S)
0.01ppm
臭氧
( O3 )
0-100ppm
<±
3%(F.S)
0.01ppm
臭氧
( O3 )
0-2000ppm
<±
3%(F.S)
1ppm
臭氧
( O3 )
0-30000ppm
<±
3%(F.S)
1ppm
硫化氫
( H2S )
0-10ppm
<±
3%(F.S)
0.001ppm
硫化氫
( H2S )
0-50ppm
<±
3%(F.S)
0.01ppm
硫化氫
( H2S )
0-100ppm
<±
3%(F.S)
0.01ppm
硫化氫
( H2S )
0-200ppm
<±
3%(F.S)
0.1ppm
硫化氫
( H2S )
0-20000ppm
<±
3%(F.S)
1ppm
硫化氫
( H2S )
0-50000ppm
<±
3%(F.S)
1ppm
硫化氫
( H2S )
0-10000ppm
<±
3%(F.S)
1ppm
二氧化硫
( SO2 )
0-10ppm
<±
3%(F.S)
0.001ppm
二氧化硫
( SO2 )
0-20ppm
<±
3%(F.S)
0.01ppm
二氧化硫
( SO2 )
0-100ppm
<±
3%(F.S)
0.01ppm
二氧化硫
( SO2 )
0-500ppm
<±
3%(F.S)
0.1ppm
二氧化硫
( SO2 )
0-2000ppm
<±
3%(F.S)
1ppm
二氧化硫
( SO2 )
0-5000ppm
<±
3%(F.S)
1ppm
二氧化硫
( SO2 )
0-10000ppm
<±
3%(F.S)
1ppm
一氧化氮
( NO )
0-25ppm
<±
3%(F.S)
0.001ppm
一氧化氮
( NO )
0-100ppm
<±
3%(F.S)
0.01ppm
一氧化氮
( NO )
0-2000ppm
<±
3%(F.S)
0.1ppm
一氧化氮
( NO )
0-5000ppm
<±
3%(F.S)
1ppm
二氧化氮
( NO2 )
0-20ppm
<±
3%(F.S)
0.01ppm
二氧化氮
( NO2 )
0-200ppm
<±
3%(F.S)
0.1ppm
二氧化氮
( NO2 )
0-1000ppm
<±
3%(F.S)
1ppm
二氧化氮
( NO2 )
0-5000ppm
<±
3%(F.S)
1ppm
氮氧化物
( NO
×
)
0-100ppm
<±
3%(F.S)
0.01ppm
氮氧化物
( NO
×
)
0-5000ppm
<±
3%(F.S)
1ppm
氯氣
( CL2 )
0-10ppm
<±
3%(F.S)
0.001ppm
氯氣
( CL2 )
0-20ppm
<±
3%(F.S)
0.01ppm
氯氣
( CL2 )
0-200ppm
<±
3%(F.S)
0.1ppm
氯氣
( CL2 )
0-1000ppm
<±
3%(F.S)
1ppm
氨氣
( NH3 )
0-50ppm
<±
3%(F.S)
0.01ppm
氨氣
( NH3 )
0-100ppm
<±
3%(F.S)
0.01ppm
氨氣
( NH3 )
0-1000ppm
<±
3%(F.S)
1ppm
氨氣
( NH3 )
0-5000ppm
<±
3%(F.S)
1ppm
氨氣
( NH3 )
0-10000ppm
<±
3%(F.S)
1ppm
氨氣
( NH3 )
0-100%LEL
<±
3%(F.S)
0.1%LEL
氫氣
( H2 )
0-100%LEL
<±
3%(F.S)
0.1%LEL
氫氣
( H2 )
0-1000ppm
<±
3%(F.S)
0.1ppm
氫氣
( H2 )
0-20000ppm
<±
3%(F.S)
1ppm
氫氣
( H2 )
0-40000ppm
<±
3%(F.S)
1ppm
氫氣
( H2 )
0-100%Vol
<±
3%(F.S)
0.01%Vol
氦氣
( He )
0-100%Vol
<±
3%(F.S)
0.01%Vol
氬氣
( Ar )
0-100%Vol
<±
3%(F.S)
0.01%Vol
氙氣
(
×
e )
0-100%Vol
<±
3%(F.S)
0.01%Vol
氰化氫
( HCN )
0-30ppm
<±
3%(F.S)
0.01ppm
氰化氫
( HCN )
0-100ppm
<±
3%(F.S)
0.01ppm
氯化氫
( HCL )
0-20ppm
<±
3%(F.S)
0.01ppm
氯化氫
( HCL )
0-200ppm
<±
3%(F.S)
0.1ppm
氯化氫
( HCL )
0-2000ppm
<±
3%(F.S)
1ppm
磷化氫
( PH3 )
0-5 ppm
<±
3%(F.S)
0.001ppm
磷化氫
( PH3 )
0-25 ppm
<±
3%(F.S)
0.01ppm
磷化氫
( PH3 )
0-2000 ppm
<±
3%(F.S)
1ppm
二氧化氯
( CL O2 )
0-1ppm
<±
3%(F.S)
0.001ppm
二氧化氯
( CL O2 )
0-10ppm
<±
3%(F.S)
0.01ppm
二氧化氯
( CL O2 )
0-200ppm
<±
3%(F.S)
0.01ppm
環(huán)氧乙烷
( ETO )
0-100ppm
<±
3%(F.S)
0.01ppm
環(huán)氧乙烷
( ETO )
0-1000ppm
<±
3%(F.S)
1ppm
環(huán)氧乙烷
( ETO )
0-100%LEL
<±
3%(F.S)
1%LEL
光氣
( COCL2 )
0-1ppm
<±
3%(F.S)
0.001ppm
光氣
( COCL2 )
0-50ppm
<±
3%(F.S)
0.01ppm
硅烷
( SiH4 )
0-1ppm
<±
3%(F.S)
0.001ppm
硅烷
( SiH4 )
0-50ppm
<±
3%(F.S)
0.01ppm
硅烷
( SiH4 )
0-1000ppm
<±
3%(F.S)
1ppm
氟氣
( F2 )
0-1ppm
<±
3%(F.S)
0.001ppm
氟氣
( F2 )
0-10ppm
<±
3%(F.S)
0.01ppm
氟氣
( F2 )
0-50ppm
<±
3%(F.S)
0.01ppm
氟化氫
( HF )
0-10ppm
<±
3%(F.S)
0.01ppm
氟化氫
( HF )
0-50ppm
<±
3%(F.S)
0.01ppm
溴化氫
( HBr )
0-50ppm
<±
3%(F.S)
0.01ppm
溴化氫
( HBr )
0-2000ppm
<±
3%(F.S)
1ppm
乙硼烷
( B2H6 )
0-10ppm
<±
3%(F.S)
0.001ppm
砷化氫
( AsH3 )
0-1ppm
<±
3%(F.S)
0.001ppm
砷化氫
( AsH3 )
0-10ppm
<±
3%(F.S)
0.01ppm
鍺烷
( GeH4 )
0-2ppm
<±
3%(F.S)
0.001ppm
鍺烷
( GeH4 )
0-20ppm
<±
3%(F.S)
0.01ppm
肼
,
聯(lián)氨
( N2H4 )
0-1ppm
<±
3%(F.S)
0.001ppm
肼
,
聯(lián)氨
( N2H4 )
0-300ppm
<±
3%(F.S)
0.1ppm
四氫噻吩
( THT )
0-100mg/m3
<±
3%(F.S)
0.01 mg/m3
溴氣
( Br2 )
0-10ppm
<±
3%(F.S)
0.001ppm
溴氣
( Br2 )
0-50ppm
<±
3%(F.S)
0.001ppm
乙炔
( C2 H2 )
0-100%LEL
<±
3%(F.S)
0.1%LEL
乙炔
( C2 H2 )
0-100ppm
<±
3%(F.S)
0.01ppm
乙炔
( C2 H2 )
0-1000ppm
<±
3%(F.S)
1ppm
乙炔
( C2 H2 )
0-10000ppm
<±
3%(F.S)
1ppm
乙烯
( C2 H4 )
0-100%LEL
<±
3%(F.S)
0.1%LEL
乙烯
( C2 H4 )
0-100ppm
<±
3%(F.S)
0.01ppm
乙烯
( C2 H4 )
0-1000ppm
<±
3%(F.S)
1ppm
乙烯
( C2 H4 )
0-10000ppm
<±
3%(F.S)
1ppm
乙醛
0-10ppm
<±
3%(F.S)
0.01ppm
乙醇
( C2 H6O )
0-100ppm
<±
3%(F.S)
0.01ppm
乙醇
( C2 H6O )
0-2000ppm
<±
3%(F.S)
1ppm
乙醇
( C2 H6O )
0-100%LEL
<±
3%(F.S)
0.1%LEL
甲醇
( CH6O )
0-100%LEL
<±
3%(F.S)
0.1%LEL
甲醇
( CH6O )
0-100ppm
<±
3%(F.S)
0.01ppm
甲醇
( CH6O )
0-2000ppm
<±
3%(F.S)
1ppm
二硫化碳
( CS2 )
0-50ppm
<±
3%(F.S)
0.01ppm
二硫化碳
( CS2 )
0-5000ppm
<±
3%(F.S)
1ppm
丙烯腈
( C3H3N )
0-50ppm
<±
3%(F.S)
0.01ppm
丙烯腈
( C3H3N )
0-100ppm
<±
3%(F.S)
0.01ppm
丙烯腈
( C3H3N )
0-2000ppm
<±
3%(F.S)
1ppm
甲胺
( CH5N )
0-50ppm
<±
3%(F.S)
0.01ppm
典氣
( I2 )
0-50ppm
<±
3%(F.S)
0.01ppm
苯乙烯
( C8 H8 )
0-200ppm
<±
3%(F.S)
0.1ppm
苯乙烯
( C8 H8 )
0-6000ppm
<±
3%(F.S)
1ppm
氯乙烯
( C2 H3CL )
0-200ppm
<±
3%(F.S)
0.01ppm
三氯乙烯
( C2 HCL3 )
0-200ppm
<±
3%(F.S)
0.01ppm
四氯乙烯
( C2 CL4 )
0-200ppm
<±
3%(F.S)
0.01ppm
溴甲烷
( CH3 Br )
0-200ppm
<±
3%(F.S)
0.01ppm
溴甲烷
( CH3 Br )
0-10000ppm
<±
3%(F.S)
1ppm
溴甲烷
( CH3 Br )
0-200g/m3
<±
3%(F.S)
0.1g/m3
硫酰氟
( SO2 F2 )
0-200ppm
<±
3%(F.S)
0.01ppm
硫酰氟
( SO2 F2 )
0-5000ppm
<±
3%(F.S)
1ppm
苯
( C6 H6 )
0-10ppm
<±
3%(F.S)
0.01ppm
苯
( C6 H6 )
0-100ppm
<±
3%(F.S)
0.01ppm
甲苯
( C7 H8 )
0-10ppm
<±
3%(F.S)
0.01ppm
甲苯
( C7 H8 )
0-20000ppm
<±
3%(F.S)
1ppm
二甲苯
( C8 H10 )
0-10ppm
<±
3%(F.S)
0.01ppm
二甲苯
( C8 H10 )
0-200ppm
<±
3%(F.S)
0.01ppm
六氟化硫(
SF6
)
0-100ppm
<±
3%(F.S)
0.1ppm
六氟化硫(
SF6
)
0-3000ppm
<±
3%(F.S)
1ppm
VOC/ TVOC
0-10ppm
<±
3%(F.S)
0.01ppm
VOC/ TVOC
0-100ppm
<±
3%(F.S)
0.1ppm
VOC/ TVOC
0-1000ppm
<±
3%(F.S)
1ppm
VOC/ TVOC
0-10000ppm
<±
3%(F.S)
1ppm
PID
0-10ppm
<±
3%(F.S)
0.001ppm
PID
0-200ppm
<±
3%(F.S)
0.1ppm
PID
0-2000ppm
<±
3%(F.S)
1ppm
PID
0-10000ppm
<±
3%(F.S)
1ppm
笑氣
(N2O)
0-100ppm
<±
3%(F.S)
0.01ppm
笑氣
(N2O)
0-5000ppm
<±
3%(F.S)
1ppm
氦氣
(He)
0-100%vol
<±
3%(F.S)
0.01vol
氬氣
(Ar)
0-100%vol
<±
3%(F.S)
0.01vol
三氟化氮
(NF3)
0-100ppm
<±
3%(F.S)
0.01ppm
三氟化氮
(NF3)
0-5000ppm
<±
3%(F.S)
1ppm
注:
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